丙烯酸单体、聚合物、含有其的抗蚀剂组成物及形成抗蚀剂图案的方法;ACRYL MONOMER, POLYMER, RESIST COMPOSITION COMPRISING THE SAME AND METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN

摘要

本发明提供了由下面化学式(1)表示的丙烯酸单体，含有源自所述丙烯酸单体的重复单元的用于抗蚀剂添加剂的聚合物，以及包含所述聚合物的抗蚀剂组成物，所述丙烯酸单体可用作形成抗蚀剂添加剂用单体，其在形成抗蚀剂图案时，在显影前显示出高疏水性，由此将水与抗蚀剂分离开，并防止做为抗蚀剂中组成材料的低分子量物质、亲水性添加剂等被洗脱入水中，而在显影后转化为亲水性，从而能够减少显影后的图案缺陷：;其中，在化学式(1)中，R表示氢原子或具有1至8个碳原子的烷基；X表示支链或环状烃基，所述支链或环状烃基具有3至30个碳原子，并含有由下面化学式(2)表示的官能基和至少一个由下面化学式(3)表示的官能基：;其中，在化学式(2)和化学式(3)中，Y表示含有氟原子的硷不稳定基团；且Z表示不含氟原子的硷不稳定基团。