金属化合物半导体生物晶片及其制作方法;METALLIC COMPOUNDS OF SEMICONDUCTOR BIOCHIP AND METHOD THEREFOR

摘要

一种金属化合物半导体生物晶片及其制作方法,在基板上的薄膜金属包括金属半导体化物层,并且金属半导体化物层具有以斜向溅镀技术所形成的斜向结构。此结构运用于生物晶片,并以表面电浆共振技术为量测技术时,具有可重复量测性、清洗性,并且可提高感测的灵敏度。