锗鳍式场效电晶体结构;GERMANIUM FINFET STRUCTURE

摘要

一种锗鳍式场效电晶体结构包含一基底以及一锗层。锗层形成于基底上,锗层表面为锗{110}晶面。锗层包含至少一锗立体结构。锗立体结构包含一顶面以及一侧壁表面,其中顶面为锗{110}晶面,侧壁表面垂直于顶面。侧壁表面与顶面交界处形成一轴线,轴线之延伸方向平行于锗层表面之锗[112]晶格方向,侧壁表面为锗{111}晶面。上述锗鳍式场效电晶体结构可应用于制造电子通道(N型)锗鳍式场效电晶体。