多轴微机电系统（ＭＥＭＳ）速率感测器装置;MULTI-AXIS MEMS RATE SENSOR DEVICE

摘要

本发明揭示一种MEMS速率感测器装置。在一实施例中，该感测器装置包含经组态上覆于一CMOS基板之一MEMS速率感测器。该MEMS速率感测器可包含具有四个驱动元件之一驱动器组及具有六个感测元件之经组态用于三轴旋转感测之一感测器组。此感测器架构容许驱动质量件中之低阻尼及感测质量件中之高阻尼，该感测器架构对一MEMS速率感测器设计系理想的。具有达到高振幅之低驱动电位，低驱动阻尼系有利于MEMS速率功率消耗及效能。