发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要 本发明之半导体装置系具备:积层晶片,其系将复数之半导体晶片积层而构成;及复数之不活性化电路,其系分别设置于上述复数之半导体晶片上,并将不良之半导体晶片不活性化;且上述复数之半导体晶片系分别具有复数之半导体基板、及形成于上述复数之半导体基板内之复数之贯通电极;且上述复数之贯通电极系电性连接。
申请公布号 TWI452664 申请公布日期 2014.09.11
申请号 TW100128609 申请日期 2011.08.10
申请人 东芝股份有限公司 日本 发明人 井上谕;神田和重;清水有威
分类号 H01L23/52;H01L21/66 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种半导体装置,其系包含:积层晶片,其系将复数之半导体晶片积层而构成;且上述复数之半导体晶片,系分别包含复数之半导体基板、及形成于上述复数之半导体基板内之复数之贯通电极;上述复数之贯通电极系电性连接;及复数之不活性化电路,其系分别设置于上述复数之半导体晶片上,并将不良半导体晶片不活性化。
地址 日本