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发明名称
半导体装置及其制造方法
摘要
本发明之半导体装置系具备:积层晶片,其系将复数之半导体晶片积层而构成;及复数之不活性化电路,其系分别设置于上述复数之半导体晶片上,并将不良之半导体晶片不活性化;且上述复数之半导体晶片系分别具有复数之半导体基板、及形成于上述复数之半导体基板内之复数之贯通电极;且上述复数之贯通电极系电性连接。
申请公布号
TWI452664
申请公布日期
2014.09.11
申请号
TW100128609
申请日期
2011.08.10
申请人
东芝股份有限公司 日本
发明人
井上谕;神田和重;清水有威
分类号
H01L23/52;H01L21/66
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
一种半导体装置,其系包含:积层晶片,其系将复数之半导体晶片积层而构成;且上述复数之半导体晶片,系分别包含复数之半导体基板、及形成于上述复数之半导体基板内之复数之贯通电极;上述复数之贯通电极系电性连接;及复数之不活性化电路,其系分别设置于上述复数之半导体晶片上,并将不良半导体晶片不活性化。
地址
日本
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