摘要 |
1. Устройство для изготовления структуры, содержащей сочетание из материала в форме частиц и материала подложки, включающее:a) первую движущуюся бесконечную поверхность, имеющую направление движения (MD) и один или более резервуаров, при этом упомянутые первая бесконечная движущаяся поверхность и содержащиеся в ней резервуары предназначены для переноса материала в форме частиц на:b) вторую движущуюся бесконечную поверхность, имеющую направление движения (MD) и несущую материал подложки, для приема упомянутого материала в форме частиц с первой движущейся бесконечной поверхности в зоне приема и для переноса упомянутого сочетания из упомянутого материала в форме частиц и упомянутого материала подложки в зоне переноса, при этом, когда вторая бесконечная движущаяся поверхность находится в упомянутой зоне приема, она находится в непосредственной близости к первой вакуумной камере и связана с ней по газовой среде, и когда упомянутая вторая бесконечная движущаяся поверхность находится в упомянутой зоне переноса, она находится в непосредственной близости ко второй вакуумной камере и связана с ней по газовой среде, и при этом упомянутые зоны приема и переноса расположены в непосредственной близости друг к другу (в направлении MD);и при этом отношение упомянутого отрицательного давления в упомянутой первой вакуумной камере к отрицательному давлению во второй вакуумной камере составляет по меньшей мере 4:3.2. Устройство для изготовления структуры, содержащей сочетание из материала в форме частиц и материала подложки, включающее:a) первую движущуюся бесконечную поверхность, имеющую направление движения (MD) и один или |