一种氧含量检测装置

摘要

本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种氧含量检测装置。该氧含量检测装置包括氧气分析仪和一个或多个控制系统，所述氧气分析仪通过所述控制系统与检测区域连接。本实用新型的氧含量检测装置既可以检测到微环境传片洁净区域内的氧含量，也可以检测到第一硅片出入口区域和第二硅片出入口区域内部的氧含量，满足半导体工艺制程的要求，结构简单，也可降低设备成本。

主权项

一种氧含量检测装置，包括氧气分析仪(2)，其特征在于，还包括一个或多个控制系统，所述氧气分析仪(2)通过所述控制系统与检测区域连接，所述控制系统包括用于控制所述管路(11)的通断的开关模块和用于操作开关模块的执行模块，所述氧气分析仪(2)通过所述开关模块与所述检测区域连接，所述开关模块与所述执行模块连接，所述执行模块与所述控制器(1)连接。