主权项 |
一种金属微喷熔滴电磁约束沉积成型系统,其特征在于,包括间隙微调仪(1)、压电执行器(2)、压电阀(4)、惰性气体罐(5)、加热元件(7)、坩埚(8)、间隙可调喷嘴(9)、交变磁场(11)、交变电场(12)、基板(13)、三维工作台(14)、压力控制器(15)、控制系统(18)、温度控制器(19)、手套箱(20)和运动控制卡(21);其中,三维工作台(14)设置在手套箱(20)内的底部,基板(13)位于工作台(14)的上端面,基板(13)上设有交变磁场(11)和交变电场(12);用于盛放金属溶液(6)的坩埚(8)位于基板(13)的正上方,坩埚(8)周围设置加热元件(7),间隙可调喷嘴(9)设置在坩埚(8)的底部,坩埚(8)的顶部从下至上依次设置有绝热元件(3)、压电执行器(2)和间隙微调仪(1),间隙微调仪(1)用于控制压电执行器(2)产生的脉冲压力,从而调节坩埚(8)内的金属溶液(6)通过间隙可调喷嘴(9)喷射金属熔滴(10)的频率;设置在手套箱(20)外的真空泵(16)通过输气管(17)与手套箱(20)相连通,设置在手套箱(20)外的惰性气体罐(5)通过压力阀(4)与手套箱(20)相连通,且压力阀(4)位于手套箱(20)内;控制系统(18)用于分别对压力控制器(15)、温度控制器(19)以及运动控制卡(21)进行控制,压力控制器(15)用于控制压力阀(4)调节手套箱(20)内的惰性气体含量,温度控制器(19)用于控制加热元件(7)对坩埚(8)内的金属溶液(6)加热,运动控制卡(21)通过控制三维工作台(14)实现对金属熔滴(10)成型的X、Y和Z三个方向的运动控制。 |