一种微型光谱仪

摘要

本发明公开了一种微型光谱仪，属于光学测量技术领域。本发明的微型光谱仪包括沿光路入射方向依次设置的光学准直装置、分光器件、阵列式探测芯片，以及与所述阵列式探测芯片连接的数据采集与分析系统，所述分光器件包括透明基底，所述透明基底的至少一个表面上固着有至少一层纳米粒子涂层，所述纳米粒子涂层由一组纳米至微米尺度的透明粒子构成，且透明粒子的尺寸或形状的分布不均匀。本发明采用纳米粒子涂层结构的分光器件，在保持测量精度高、测量范围大以及对振动不敏感等优点的同时，其制作工艺更简单，实现成本更低。

主权项

一种微型光谱仪，包括沿光路入射方向依次设置的光学准直装置、分光器件、阵列式探测芯片，以及与所述阵列式探测芯片连接的数据采集与分析系统，其特征在于，所述分光器件包括透明基底，所述透明基底的至少一个表面上固着有至少一层纳米粒子涂层，所述纳米粒子涂层由一组纳米至微米尺度的透明粒子构成，且透明粒子的尺寸或形状的分布不均匀。