| 发明名称 | 具备真空容器的带电粒子线照射装置 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供利用比较简单的结构来实现试料或试料台的冷却的带电粒子线照射装置。作为达到上述目的的一方案，带电粒子线照射装置具备带电粒子源、试料台、及具有传递用于使该试料台移动的驱动力的传递机构的驱动机构，其中，该带电粒子线照射装置具有配置于真空室内且能收容离子液体(12)的容器，该容器设置于在收容有所述离子液体(12)时使所述传递机构的至少一部分浸渍于离子液体(12)中的位置。 | ||
| 申请公布号 | CN104040677A | 申请公布日期 | 2014.09.10 |
| 申请号 | CN201280066028.4 | 申请日期 | 2012.12.25 |
| 申请人 | 株式会社日立高新技术 | 发明人 | 金子朝子;高须久幸;武藤宏史 |
| 分类号 | H01J37/305(2006.01)I;H01J37/20(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/305(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 刘婷 |
| 主权项 | 一种带电粒子线照射装置，其特征在于，具有：带电粒子源；用于载置由该带电粒子源照射的试料的试料台；具有传递用于使该试料台移动的驱动力的传递机构的驱动机构；将载置所述试料的气氛维持为真空状态的真空室；配置于该真空室内且能收容离子液体的容器，该容器设置于在收容有所述离子液体时使所述传递机构的至少一部分浸渍于离子液体中的位置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||