| 发明名称 | 薄膜装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种薄膜装置，具有多个薄膜单元，每一薄膜单元包括一结晶层以及一环绕层。结晶层具有一多边形的形状。环绕层部份位于结晶层之上，此环绕层围绕于结晶层。本发明的薄膜装置的结构稳定而坚固且不变形，可有效改善薄膜装置的灵敏度，以进而提升于微机电的应用范围。 | ||
| 申请公布号 | CN104030229A | 申请公布日期 | 2014.09.10 |
| 申请号 | CN201410071474.5 | 申请日期 | 2014.02.28 |
| 申请人 | 先技股份有限公司 | 发明人 | 吕柏纬;刘茂诚;周文介;王竣傑;翁淑怡 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 梁挥;常大军 |
| 主权项 | 一种薄膜装置，其特征在于，具有多个薄膜单元，每一该薄膜单元包括：一结晶层，具有一多边形的形状；以及一环绕层，部份位于该结晶层之上，该环绕层围绕于该结晶层。 | ||
| 地址 | 中国台湾台北市大同区酒泉街34-1号6楼 | ||