一种晶圆吸盘保护装置

摘要

本实用新型提供一种晶圆吸盘保护装置，该装置至少包括：具有上、下表面的第一保护结构；穿过所述第一保护结构上、下表面的通槽；由侧壁围成且具有上表面的吸盘；所述吸盘沿其侧壁嵌入于所述第一保护结构的通槽；所述吸盘上表面高于所述第一保护结构的上表面；完全覆盖并背面吸附于所述吸盘上表面的晶圆；所述第一保护结构的上表面嵌有围绕所述吸盘的第二保护结构；所述第二保护结构接触于所述晶圆边缘或背面。本实用新型的晶圆吸盘保护装置在晶圆受到离子束轰击的同时，使得所述晶圆吸盘在所述第二保护结构的保护下避免受离子束轰击，延长了所述第一保护结构的使用寿命，降低了生产成本。

主权项

一种晶圆吸盘保护装置，其特征在于，所述晶圆吸盘保护装置至少包括：具有上、下表面的第一保护结构；穿过所述第一保护结构上、下表面的通槽；由侧壁围成且具有上表面的吸盘；所述吸盘沿其侧壁嵌入于所述第一保护结构的通槽；所述吸盘上表面高于所述第一保护结构的上表面；完全覆盖并背面吸附于所述吸盘上表面的晶圆；所述第一保护结构的上表面嵌有围绕所述吸盘的第二保护结构；所述第二保护结构接触于所述晶圆边缘或背面。