晶圆背面对准的方法

摘要

本发明提供一种晶圆背面对准的方法。在进行背面对准时将晶圆从第二表面进行刻蚀，使得第一对准标记显现出来，并且在晶圆的两个主要表面采用了呈镜像对称的对准标记，便能够在不改变单面对准设备的情况下，实现背面对准产品的生产，从而提高了设备的利用率，并大大降低了生产成本。

主权项

一种晶圆背面对准的方法，其特征在于，包括：在第一晶圆的第一表面上形成第一层器件，并反转所述第一晶圆使之结合于第二晶圆上，所述第一晶圆的第一表面上形成有第一对准标记；将所述第一晶圆从第二表面削薄至第一厚度，并刻蚀所述第一对准标记所在区域，使得所述第一对准标记显现；采用包括第二对准标记的光罩进行光刻；其中，所述第一对准标记和第二对准标记呈镜像对称。