用于高速固化在低温衬底上的薄膜的方法和装置

摘要

本发明涉及用于高速固化在低温衬底上的薄膜的方法和装置。公开了一种用于高速热加工在低温衬底上的薄膜的固化装置。所述固化装置包括频闪头、频闪控制模块和传送器控制模块。所述频闪控制模块控制由在所述频闪头上的闪光灯产生的脉冲组的功率、持续时间和重复速率。根据速度信息，所述传送器控制模块与所述频闪控制模块一起提供在所述脉冲组的所述重复速率与所述衬底在所述频闪头下方移动的速度之间的实时同步。

主权项

一种固化装置，包括：用于输运安装在衬底上的薄膜层的传送器系统；频闪头，其具有闪光灯，用于向所述薄膜层提供多个电磁脉冲；频闪控制模块，其用于控制由所述闪光灯产生的所述多个电磁脉冲的功率、持续时间和重复速率；传送器控制模块，其与所述频闪控制模块一起，用于实时同步所述多个电磁脉冲的所述重复速率与所述衬底移动通过所述频闪头的速度，其中所述同步由下式给出：$f=\frac{0.2*S*O}{W}$其中f＝脉冲重复速率[Hz]S＝移动所述衬底的速度[ft/min]O＝由所述衬底接收的频闪脉冲的平均数W＝所述频闪头的宽度[in]；以及用于在所述薄膜被暴露到所述电磁脉冲之后冷却所述薄膜的气刀。