液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置

摘要

本发明提供一种液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置，其中方法包括在基板上表面依次层叠振动板、下电极和压电陶瓷薄膜层，以形成衬底；通过光刻工艺在所述压电陶瓷薄膜层上表面形成多个间隔的光刻胶层，该光刻胶层的纵向截面的上部宽且下部窄；在所述压电陶瓷薄膜层上表面以及所述光刻胶层上表面形成电极层，位于所述压电陶瓷薄膜层上表面的部分电极层与位于所述光刻胶层上表面的部分电极层相互断开；通过漂洗液去除所述光刻胶层和其上表面的部分电极层，保留位于所述压电陶瓷薄膜层上表面的部分电极层，以形成上电极。本发明可以对上电极的尺寸进行精确控制，提高液体喷头的制造成品率。

主权项

一种液体喷头制造方法，其特征在于,包括：在基板上表面依次层叠振动板、下电极和压电陶瓷薄膜层，以形成衬底；通过光刻工艺在所述压电陶瓷薄膜层上表面形成多个间隔的光刻胶层，该光刻胶层的纵向截面的上部宽且下部窄；在所述压电陶瓷薄膜层上表面以及所述光刻胶层上表面形成电极层，位于所述压电陶瓷薄膜层上表面的部分电极层与位于所述光刻胶层上表面的部分电极层相互断开；通过漂洗液去除所述光刻胶层和其上表面的部分电极层，保留位于所述压电陶瓷薄膜层上表面的部分电极层，以形成上电极。