一种集成电路静电防护性能的测试方法

摘要

本发明公开了一种集成电路静电防护性能的测试方法，包括模拟各种不同的工作环境，并在该各种不同的工作环境中对IC进行静电防护性能的测试。本发明能够全面评估被测IC是否在各种不同的工作环境中都满足相关标准的要求。

主权项

一种集成电路静电防护性能的测试方法，其特征在于，包括：在第一温度条件下，将静电放电发生器设置在第一测试条件下对被测集成电路进行第一工作环境下的静电放电测试，其中，所述第一测试条件为：将所述静电放电发生器的输出电压设置为第一电压，所述静电放电发生器的静电枪头接触所述被测集成电路的一个输入输出I/O脚，所述被测集成电路的其余I/O脚接地；在所述第一工作环境下的静电放电测试后，检测所述被测集成电路是否失效；若所述被测集成电路未失效，则在第一温度条件下，将所述静电放电发生器设置在第二测试条件下对所述被测集成电路进行第二工作环境下的静电放电测试，其中，所述第二测试条件为：将所述静电放电发生器的输出电压设置为第二电压，所述第二电压的绝对值大于所述第一电压，所述静电放电发生器的静电枪头靠近所述被测集成电路的一个I/O脚，所述被测集成电路的其余I/O脚接地；在所述第二工作环境下的静电放电测试后，检测所述被测集成电路是否失效；若所述被测集成电路未失效，则在第二温度条件下，将静电放电发生器分别设置在所述第一测试条件和所述第二测试条件下对被测集成电路进行第三工作环境下的静电放电测试，其中，所述第二温度小于所述第一温度；在所述第三工作环境下的静电放电测试后，检测所述被测集成电路是否失效；若所述被测集成电路未失效，则在第三温度条件下，将静电放电发生器分别设置在所述第一测试条件和所述第二测试条件下对被测集成电路进行第四工作环境下的静电放电测试，其中，所述第三温度大于所述第一温度；在所述第四工作环境下的静电放电测试后，检测所述被测集成电路是否失效；若所述被测集成电路未失效，则确定所述被测集成电路的静电防护性能测试通过。