一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法

摘要

本发明涉及一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：将由化学共沉淀法得到氧化铟锡粉末装入管状柔性模具中，以200～400MPa压力进行冷等静压成型，冷等静压结束后，卸压至常压，制得氧化铟锡管状素坯，再将氧化铟锡管状素坯在脱脂炉中进行脱脂，然后将脱脂后的坯体放入压力烧结炉中，按一定的烧结条件在氧气压力下进行压力烧结，得到相对密度在99%以上的氧化铟锡旋转靶材。本发明制备的氧化铟锡管状旋转靶材，其优点在溅射过程中，靶材可绕固定的条状磁铁组件旋转，因而360°靶面可被均匀刻蚀，同时溅射原子可向各个方向飞行，均匀性好，溅射面积大，更换操作方便，生产效率高，靶材利用率高(>80%)。

主权项

一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）将由化学共沉淀法得到的氧化铟锡粉末装入管状柔性模具中，以200～400MPa压力进行冷等静压成型，冷等静压结束后，卸压至常压，脱模后获得氧化铟锡管状素坯；所述的冷等静压结束后，卸压至常压的过程中采用N级卸压保压，第一级卸压保压的压力为冷等静压压力的0.5～0.85倍，后一级卸压保压的压力为前一级卸压保压压力的0.5～0.85倍，各级的保压时间均为1～10min，第N级卸压保压结束后直接卸压至常压，3≤N≤8；（2）再将氧化铟锡管状素坯放入脱脂炉中进行脱脂；具体步骤为：将氧化铟锡管状素坯放入脱脂炉，以0.1～0.5℃/ min的升温速率，升至500℃，保温1～3小时后，以0.3～1℃/min的降温速率降至室温；（3）然后将脱脂后的坯体放入压力烧结炉中，按一定的烧结条件在氧气压力下进行压力烧结，得到相对密度在99%以上的管状氧化铟锡靶材，即氧化铟锡旋转靶材；所述的烧结条件是指以0.5～2℃/ min的升温速率升温，至1450～1600℃保温烧结10～15小时，然后按降温速率0.75～1℃/ min降温至1000℃，之后自然降温；所述的压力烧结是指在1～5公斤的氧气压力下进行烧结。