玻璃盖片激光划片装置

摘要

本实用新型公开了一种玻璃盖片激光划片装置，它包括：能够发出激光束的激光光源，对所述激光光源所发出的激光束的激光功率进行调节的激光功率调节装置，用于调节所述激光束的偏振态及偏振方向的装置，使所述激光束会聚的激光会聚装置，能够让由所述激光会聚装置会聚的激光焦点的位置沿竖直方向上下移动的Z向移动机构，以及用于固定晶圆的晶圆定位平台；所述晶圆定位平台上设置有能够带动该晶圆定位平台在水平面内作旋转运动的旋转机构、以及能够带动该晶圆定位平台在水平方向平移运动的X向移动机构和Y向移动机构。该装置在控制芯片良品率的同时还可以提高生产效率，也可以避免耗材更换的成本问题。

主权项

一种玻璃盖片激光划片装置，其特征在于它包括： 能够发出激光束(11)的激光光源， 对所述激光光源所发出的激光束(11)的激光功率进行调节的激光功率调节装置(21)； 用于调节所述激光束(11)的偏振态及偏振方向的装置， 使所述激光束会聚的激光会聚装置， 能够让由所述激光会聚装置会聚的激光焦点的位置沿竖直方向上下移动的Z向移动机构(31)， 以及用于固定晶圆的晶圆定位平台； 所述晶圆定位平台上设置有能够带动该晶圆定位平台在水平面内作旋转运动的旋转机构(28)、以及能够带动该晶圆定位平台在水平方向平移运动的X向移动机构(30)和Y向移动机构(29)。