一种找零式精确自动补液系统

摘要

一种用于硅片清洗的找零式精确自动补液系统，包括：高位储液罐、高位储液罐的底部有带第一气动阀的输液管道和带第二气动阀的补液管，高位储液罐旁有一小定量管，小定量管底部有带第四气动阀的小剂量补液管，第三气动阀连接于第二气动阀输入口与第四气动阀的输入口之间。高位储液罐和小定量管内均设有多个具有容积标识的检测液位，高位储液罐的最高检测液位高于小定量管的最高检测液位，这两个最高检测液位之差在高位储液罐内腔形成的体积大于或等于小定量管内最高检测液位的体积。所述四个气动阀、用于高位储液罐及小定量管的各检测液位的检测传感器与一控制器连接。通过多点液位检测，可以组合得到各种补加量，而每种补加量都可达到±1.5%的精度。

主权项

一种找零式精确自动补液系统，包括设于反应槽上方的大剂量补液的高位储液罐（1）、该高位储液罐的底部设有带第一气动阀（V01）的输液管道（3），其特征在于，所述高位储液罐（1）的底部设有带第二气动阀（V02）的补液管（4），高位储液罐（1）旁设有一小剂量补液的小定量管（2），小定量管（2）底部设有带第四气动阀（V04）的小剂量补液管（5），第三气动阀（V03）连接于所述第二气动阀（V02）输入口与第四气动阀（V04）的输入口之间而将补液管（4）与小剂量补液管（5）联通；所述高位储液罐（1）内由高到低设有多个具有容积标识的检测液位，小定量管（2）内由高到低设有多个具有容积标识的检测液位，高位储液罐（1）的最高检测液位（A）高于小定量管（2）的最高检测液位（X），高位储液罐（1）的最高检测液位（A）与小定量管（2）的最高检测液位（X）之差（L）在高位储液罐（1）内腔形成的体积大于或等于小定量管（2）内最高检测液位（X）的体积；所述的第一、二、三、四气动阀、用于高位储液罐（1）及小定量管（2）的各检测液位的检测传感器与一控制器连接。