发明名称 |
镍铂合金靶材及其制备方法 |
摘要 |
本发明涉及镍铂合金靶材的制备方法,包括依次进行的如下步骤:采用镍和铂作为原料,原料在坩埚中进行高温熔炼成镍铂合金锭;采用真空电子束将镍铂合金锭熔炼成高纯镍铂合金锭;对高纯镍铂合金锭进行径向热锻和退火处理;对高纯镍铂合金锭进行纵向墩粗和退火处理;对高纯镍铂合金锭进行热轧、冷轧和再结晶退火处理,形成镍铂合金靶坯;对镍铂合金靶坯进行机械加工,形成镍铂合金靶材。本发明通过高温熔炼、真空电子束熔炼、径向热锻和退火处理、纵向墩粗和退火处理、热轧冷轧和再结晶退火处理等步骤,获得了成分均匀、纯度高、晶粒细小、氧含量低的镍铂合金靶材。这样的靶材利于获得厚度均匀、颗粒少的高质量的薄膜。 |
申请公布号 |
CN104018120A |
申请公布日期 |
2014.09.03 |
申请号 |
CN201410286746.3 |
申请日期 |
2014.06.24 |
申请人 |
昆山海普电子材料有限公司 |
发明人 |
邵玲;王广欣;赵学义 |
分类号 |
C23C14/14(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C22F1/10(2006.01)I;C22C1/02(2006.01)I;C22C19/03(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/14(2006.01)I |
代理机构 |
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 |
代理人 |
孙仿卫;汪青 |
主权项 |
一种镍铂合金靶材的制备方法,其特征在于:包括依次进行的如下步骤:(1)、采用纯度大于等于99.99%的镍和纯度大于等于99.95%的铂作为原料,所述原料中铂含量为1 at.%~20 at.%,所述原料在坩埚中进行真空感应熔炼成镍铂合金锭;(2)、在真空度为0.3~4Pa条件下,采用真空电子束将所述的镍铂合金锭熔炼成高纯镍铂合金锭;所述的高纯镍铂合金锭的纯度大于等于99.995%,氧含量低于50ppm;(3)、在950℃~1150℃下对所述的高纯镍铂合金锭进行径向热锻,然后将进行径向热锻后的高纯镍铂合金锭进行退火处理;(4)、在950℃~1150℃下对步骤(3)处理后的高纯镍铂合金锭进行纵向墩粗,然后将进行纵向墩粗后的高纯镍铂合金锭进行退火处理;(5)、在600℃~800℃下对步骤(4)处理后的高纯镍铂合金锭进行热轧,然后在10℃~40℃下对热轧后的高纯镍铂合金锭进行冷轧,然后在600℃~700℃下对冷轧后的高纯镍铂合金锭进行再结晶退火处理,形成晶粒尺寸小于100μm的镍铂合金靶坯;(6)、对所述的镍铂合金靶坯进行机械加工,形成所述的镍铂合金靶材。 |
地址 |
215311 江苏省苏州市昆山市巴城镇学院路828号浦东软件园2栋12A |