镀膜修正板及包括该镀膜修正板的镀膜装置

摘要

一种镀膜修正板，包括具有第一表面的板体，复数石英晶体微量天平、复数讯号线、第一补偿板、第二补偿板、驱动装置及处理控制模组。每个石英晶体微量天平自该第一表面嵌设于该板体内，用于感测镀层重量，并将该镀层重量转化为振荡信号。每条讯号线与一石英晶体微量天平及该处理控制模组相连。该处理控制模组用于根据每个振荡信号计算该镀层重量值，并根据该计算结果控制该驱动装置运作。该驱动装置用于驱动该第一补偿板及/或第二补偿板运动至与该板体接触来补偿该第一表面的面积，直至所有石英晶体微量天平感测的镀层重量值相等。

主权项

一种镀膜修正板，包括板体，该板体具有第一表面，其改进在于，该镀膜修正板还包括复数石英晶体微量天平、复数讯号线、第一补偿板、第二补偿板、驱动装置及处理控制模组模组，每个石英晶体微量天平自该第一表面嵌设于该板体内，用于感测镀层重量，并将该镀层重量转化为振荡信号，每条讯号线与一石英晶体微量天平及该处理控制模组相连，用于将该振荡信号传输至该处理控制模组，该处理控制模组用于根据每个振荡信号计算该镀层重量值，并根据该计算结果控制该驱动装置运作，该驱动装置用于于该处理控制模组的控制下驱动该第一补偿板及/或第二补偿板运动至与该板体接触来补偿该第一表面的面积，直至所有石英晶体微量天平感测的镀层重量值相等。