溅镀式镀膜装置

摘要

一种对待镀工件进行镀膜的溅镀式镀膜装置，其包括中空的工件承载组件及靶材组件。工件承载组件包括复数固定待镀工件且可自转的料杆。靶材组件穿过工件承载组件并与待镀工件相对。料杆包括一个本体及至少一个沿本体向外延伸的调整组件。每个调整组件包括一个固定在本体上的支撑杆，固设于支撑杆且沿支撑杆径向延伸的第一固定杆及第二固定杆，可伸缩地连接于支撑杆且沿支撑杆径向延伸的第一螺杆及第二螺杆以及收容于支撑杆内的驱动组件。驱动组件驱动第一螺杆及第二螺杆伸缩并配合第一固定杆及第二固定杆以共同将待镀工件固定在支撑杆上。

主权项

一种溅镀式镀膜装置，其用于对待镀工件进行镀膜，该溅镀式镀膜装置包括一个中空的工件承载组件及一个靶材组件；该工件承载组件包括复数用来固定该待镀工件且可自转的料杆；该靶材组件穿过该工件承载组件并与该待镀工件相对，其改进在于：该料杆包括一个本体及至少一个沿该本体向外延伸的调整组件，每个调整组件包括：一个固定在该本体上的支撑杆；固设于该支撑杆且沿该支撑杆径向延伸的第一固定杆及第二固定杆；可伸缩地连接于该支撑杆上且沿该支撑杆径向延伸的第一螺杆及第二螺杆；及一个收容于该支撑杆内的驱动组件，用于驱动该第一螺杆及该第二螺杆伸缩并配合该第一固定杆及该第二固定杆以共同将该待镀工件抵持固定在该支撑杆上。