流延膜、模头及薄膜的制造方法;CASTING DIE, PRODUCTION METHOD OF DIE HEAD, AND PRODUCTION METHOD OF FILM

摘要

本发明提供一种抑制在模头的基底上设置DLC膜时所产生之龟裂之流延模、模头的制造方法及薄膜制造方法。流延膜在浓液流出口具备拆装自如的模头。模头具有基底、基底层及DLC膜。由不锈钢构成基底,并由碳化钨亦即WC构成基底层。在基底层上形成DLC膜。形成DLC膜时,以依据由基底与基底层的热膨胀应变产生之外力所求出之作用于基底层之应力小于基底层的断裂应力之方式决定基底与基底层的线膨胀系数、模头的长边方向的长度LY及气相成膜法中的加热温度的组合。依据该组合来形成基底层与DLC膜。