马达模组、多轴马达驱动组件、多轴机器人设备、及电子装置制造系统与方法;MOTOR MODULES, MULTI-AXIS MOTOR DRIVE ASSEMBLIES, MULTI-AXIS ROBOT APPARATUS, AND ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMS AND METHODS

摘要

本文描述用于多臂机器人设备之马达模组。马达模组可单独使用,或经堆叠及组装以组成单轴、二轴、三轴、四轴、五轴、六轴马达组件,或六轴以上之马达组件。马达模组中之一或更多者具有:定子组件,该定子组件包括收纳在定子外壳中之定子;及与定子组件相接之转子组件,该转子组件包括转子外壳、驱动轴、支撑驱动轴之轴承组件,及耦接至该驱动轴之转子。真空阻障层部件定位在转子与定子之间。本文描述了多轴马达驱动组件、多轴机器人设备、电子装置制造系统及组装驱动组件之方法,以及描述了衆多其他态样。