基板搬运机器人和基板搬运方法;SUBSTRATE TRANSFER ROBOT AND SUBSTRATE TRANSFER METHOD

摘要

本发明涉及基板搬运机器人和基板搬运方法。该基板搬运机器人包括可伸展/可缩回臂单元、机器人手和感测器单元。该可伸展/可缩回臂单元构造成在水平方向上伸展和缩回。该机器人手设置有用于保持基板的叉指。该机器人手包括可旋转地连接到该可伸展/可缩回臂单元的末端部的基端部。该感测器单元布置成藉由该机器人手的旋转力而旋转。该感测器单元构造成在旋转时与由该叉指保持的该基板的侧端部在俯视观察时交叉并且检测该基板的侧端位置。