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Ein Verfahren zum Betreiben einer Massenspektrometervakuumschnittstelle, umfassend eine Skimmer-Vorrichtung – vorzugsweise einen Skimmer-Kegel (133) – mit einer Skimmer-Öffnung (134) und einer stromabwärts gelegenen Ionenextraktionsoptik (150). Ein sich ausdehnendes Plasma wird durch die Skimmer-Öffnung geskimmt. Innerhalb der Skimmer-Vorrichtung wird ein an die Skimmer-Vorrichtung angrenzender Teil (142) des geskimmten Plasmas vom Rest des geskimmten Plasmas (126) abgetrennt, indem Mittel bereitgestellt werden, um zu verhindern, zu unterbinden oder zu vermeiden, dass der abgetrennte Teil die Extraktionsoptik erreicht, während ermöglicht wird, dass sich der Rest zur Extraktionsoptik hin ausdehnt. Dies ermöglicht das Entfernen von Abscheidungsstoff auf der Oberfläche (135) der Skimmer-Vorrichtung freigesetzter Ionen, wodurch sich gegen solche Ionen abgegrenzt wird und verringerte Gedächtniseffekte bereitgestellt werden. Der Rest des Plasmas kann sich zur Extraktionsoptik hin ausdehnen, so dass eine Wechselwirkung und eine Mischung zwischen der Grenzschicht und dem Rest des Plasmas verringert oder minimiert werden kann, wodurch die Anzahl der zuvor abgeschiedenen Ionen verringert wird, die stromabwärts der Skimmer-Vorrichtung in die Extraktionsoptik laufen. |
