发明名称 ETSUCHINGUHOHO
摘要
申请公布号 JPS51105272(A) 申请公布日期 1976.09.17
申请号 JP19750030413 申请日期 1975.03.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 INOE SHINICHI;YANO HIROSHI;KOBAYASHI KOICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/00;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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