| 摘要 |
Verfahren und Systeme können einen hybriden MEMS-HF-Komponentenaufbau bereitstellen, der eine elektrostatische Betätigung und eine piezoelektrische Betätigung umfasst. In einem Beispiel kann das Verfahren ein Anlegen einer ersten Spannung zum Erzeugen einer ersten piezoelektrischen Kraft, um einen ersten Spalt zwischen einem Ausleger und einer Betätigungselektrode zu verringern, und Anlegen einer zweiten Spannung zum Erzeugen einer elektrostatischen Kraft umfassen, um Kontakt zwischen dem Ausleger und einer Übertragungselektrode herzustellen. |
