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摘要 An anchoring structure for a metal structure of a semiconductor device includes an anchoring recess structure having at least one overhanging side wall, the metal structure being at least partly arranged within the anchoring recess structure.
申请公布号 JP5579758(B2) 申请公布日期 2014.08.27
申请号 JP20120015456 申请日期 2012.01.27
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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