三氯氢硅的提纯方法

摘要

本发明公开了一种三氯氢硅的提纯方法。该方法包括以下步骤：将三氯氢硅粗液通过加热系统进行加热，加热至预定温度；将加热后的三氯氢硅粗液通入排气罐，脱出不凝气；将脱出不凝气的三氯氢硅粗液通入提纯塔组进行提纯，得到三氯氢硅产品；其中，预定温度小于等于提纯塔组的第一精馏塔进料板压力下的饱和温度。该方法通过在三氯氢硅粗液进入提纯塔组之前对其进行加热，能够使粗液中不凝气的溶解度下降，进而有利于粗液中的不凝气被分离出来。然后将加热后的粗液通过排气罐，能够将其中的不凝气排出。这就有利于改善后期提纯塔组中的运行压力因不凝气发生的波动，提高提纯塔组的运行稳定性。

主权项

一种三氯氢硅的提纯方法，其特征在于，包括以下步骤：将三氯氢硅粗液通过加热系统进行加热，加热至预定温度；将加热后的所述三氯氢硅粗液通入排气罐，脱出不凝气；将脱出不凝气的所述三氯氢硅粗液通入提纯塔组进行提纯，得到三氯氢硅产品；其中，所述预定温度小于等于所述提纯塔组的第一精馏塔进料板压力下的饱和温度。