一种去除数字微镜器件微镜抖动的装置及方法

摘要

本发明公开一种去除数字微镜器件微镜抖动的装置及方法，装置包括激光光源、DMD、第一CCD相机及第二CCD相机；激光光源发出光束照射在DMD表面，经由DMD表面的微镜反射后，于反射空间内出现一对互补像，该一对互补像的对应反射光束分别被第一CCD相机和第二CCD相机同时接收，将所接收的一对互补像进行叠加处理，即实现消除DMD微镜抖动，从而可以消除DMD用于表面形貌测量时所产生的重要误差源。去除抖动装置结构简单，去除抖动方法简洁、易于控制，所达到的去除抖动效果优良。

主权项

一种去除数字微镜器件微镜抖动的装置，其特征在于：包括激光光源、DMD、第一CCD相机及第二CCD相机；所述激光光源发出的光束照射在所述DMD上，所述第一CCD相机和第二CCD相机分别位于所述激光光源光线入射进所述DMD所形成的第一反射光束处和第二反射光束处。