砂轮修整器在研磨部件上的滑动距离分布的获得方法、滑动矢量分布的获得方法及研磨装置

摘要

一种方法，获得高精度的研磨部件外形的方法。本方法包含如下工序：通过将砂轮修整器与研磨部件的相对速度乘以两者的接触时间，来算出砂轮修整器的滑动距离的增量，通过将算出的滑动距离的增量乘以至少一个补正系数，来补正滑动距离的增量，随着经过时间重复加上补正后的滑动距离的增量，算出滑动距离，从所得到获得距离与获得距离算出点的位置，生成砂轮修整器的滑动距离分布。所述至少一个补正系数包含对滑动距离算出点设置的凹凸补正系数。凹凸补正系数是用于使形成于研磨部件表面的凸部的磨量与凹部的磨量的差异反映研磨部件外形的补正系数。

主权项

一种方法，是获得在用于研磨基板的研磨部件上滑动的砂轮修整器的滑动距离分布的方法，该方法的特征在于，包含下述工序：对在所述研磨部件上的规定的滑动距离算出点的所述砂轮修整器与所述研磨部件的相对速度进行计算；通过将所述相对速度乘以在所述滑动距离算出点的所述砂轮修整器与所述研磨部件的接触时间，来算出在所述滑动距离算出点的所述砂轮修整器的滑动距离的增量；通过将至少一个补正系数乘以所述算出的滑动距离的增量，来补正所述滑动距离的增量；通过将所述补正后的滑动距离的增量加上在所述滑动距离算出点的目前的滑动距离，来更新所述滑动距离；以及根据所述更新后的滑动距离和所述滑动距离算出点的位置，生成所述砂轮修整器的滑动距离分布，所述至少一个补正系数包含对所述滑动距离算出点设置的凹凸补正系数，所述凹凸补正系数是用于使形成于所述研磨部件的表面的凸部的磨量与凹部的磨量的差异反映所述研磨部件的外形的补正系数，通过将所述凹凸补正系数乘以所述滑动距离的增量，来补正该滑动距离的增量。