| 发明名称 | 振动型微机械角速度传感器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于测量角速度的测量装置，更具体地，涉及振动型微机械角速度传感器。本发明的角速度传感器适于测量相对于两个轴或三个轴的角速度，并且所述角速度传感器的至少两个振动块体(34～36、52～53、71～75)适于通过共同模式而被激发至进入主运动振动。本发明的角速度传感器的结构使得特别是在小型化的振动型微机械角速度传感器中能够以良好性能实现可靠测量。 | ||
| 申请公布号 | CN102066874B | 申请公布日期 | 2014.08.27 |
| 申请号 | CN200980122679.9 | 申请日期 | 2009.04.08 |
| 申请人 | 村田电子有限公司 | 发明人 | 安斯·布卢姆奎斯特 |
| 分类号 | G01C19/5712(2012.01)I;G01C19/5762(2012.01)I;G01C19/5747(2012.01)I | 主分类号 | G01C19/5712(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 陈桂香;武玉琴 |
| 主权项 | 一种振动型微机械角速度传感器，其包括：至少两个振动块体(34～36、52～53、71～75)，它们通过支撑结构(19～23、56～60)和/或弹簧结构(24～29、49、61～66)而被悬挂着；以及用于将所述振动块体(34～36、52～53、71～75)相互结合起来的弹簧构件(30～31、67～68)，其特征在于，所述角速度传感器适于通过所述振动块体(34～36、52～53、71～75)的电极(37～40、76～79)和/或通过以与所述振动块体(34～36、52～53、71～75)相关联的方式设置的检测用梳状结构(44、47～48、54～55、83、86～87)来测量相对于两个轴或三个轴的角速度，并且所述角速度传感器的所述至少两个振动块体(34～36、52～53、71～75)适于通过共同模式而被激发至进入主运动振动，并且所述至少两个振动块体(34～36、52～53、71～75)包括至少一个线性块体(35～36、52～53、72～75)。 | ||
| 地址 | 芬兰万塔 | ||