| 发明名称 | 一种硅片盒充气口以及充气装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种硅片盒充气口，包括充气管道、弹簧以及外壳。所述充气管道穿过所述外壳，所述弹性元件设置于所述外壳与充气管道之间，且沿所述充气管道的轴向伸缩。根据本实用新型的另一面，还提供了一种充气装置，包括所述硅片盒充气口以及与硅片盒充气口相连接的充气管道。本实用新型不仅避免了在操作过程中引入外界杂质，而且提高了充气效率，节省人力财力。同时，这种硅片盒充气口以及充气装置，结构简单，易于实现。 | ||
| 申请公布号 | CN203793958U | 申请公布日期 | 2014.08.27 |
| 申请号 | CN201420198061.9 | 申请日期 | 2014.04.22 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 袁海岭;李炯 |
| 分类号 | B65D85/30(2006.01)I;B65D81/20(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | B65D85/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 王宏婧 |
| 主权项 | 一种硅片盒充气口，其特征在于，包括充气管道、弹性元件以及外壳，所述充气管道穿过所述外壳，所述弹性元件设置于所述外壳与充气管道之间，且沿所述充气管道的轴向伸缩。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 | ||