基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器

摘要

本发明涉及一种基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器，包括密封连接的壳体和壳盖，还包括压电基片、压电薄膜、基座和三个声表面波谐振器，压电薄膜设在压电基片的上表面，基座固定在壳体内的底面上，压电基片的一端为固定端，另一端为悬伸端，压电薄膜的一端和压电基片的固定端均固定在基座上，且高于壳体内的底面；至少有一个声表面波谐振器设在压电薄膜的上表面，剩余的声表面谐振器设在压电薄膜和压电基片之间；三个声表面波谐振器谐振频率各不相同；三个声表面波谐振器所产生的声表面波均在x方向传播，而所述x方向是指沿着压电基片的固定端向压电基片的悬伸端的伸出方向。本发明具有能够监测加速度和温度，以及测量精度高的优点。

主权项

一种基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器，包括壳体（1）和壳盖（2），所述壳体（1）和壳盖（2）密封连接，其特征在于：a、还包括压电基片（3）、压电薄膜（6）、基座（8）和三个声表面波谐振器（4），所述压电薄膜（6）设在压电基片（3）的上表面，所述基座（8）固定在壳体（1）内的底面上，压电基片（3）的一端为固定端，另一端为悬伸端，压电薄膜（6）的一端和压电基片（3）的固定端均固定在基座（8）上，且高于壳体（1）内的底面；b、至少有一个声表面波谐振器（4）设在压电薄膜（6）的上表面，剩余的声表面谐振器（4）设在压电薄膜（6）和压电基片（3）之间；c、所述三个声表面波谐振器（4）并联连接，且谐振频率各不相同；d、所述三个声表面波谐振器（4）所产生的声表面波均在x方向传播，而所述x方向是指沿着压电基片（3）的固定端向压电基片（3）的悬伸端的伸出方向。