一种多晶硅铸锭炉固液界面测量装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉固液界面测量装置，包括测量脚、石英棒、压力传感器、位移传感器、环节、电机、行程开关、滚珠丝杠、驱动器、控制器和显示屏；所述电机与滚珠丝杠连接，带动滚珠丝杠做正反向旋转，所述滚珠丝杠上设有驱动器，所述驱动器与压力传感器固定相接，所述压力传感器与石英棒相接，所述石英棒与环节活动相接，所述驱动器上设置有位移传感器；所述石英棒下端设置有测量脚；所述滚珠丝杠上下方设置有行程开关；所述控制器内设有可编程数据处理器，其前面板上设置有显示屏和控制面板；本新型通过测量脚和活动环节结构，能够测量多晶硅固液界面的高度和倾斜方向，控制生产过程参数调整，提高产品成品率，减少损失。

主权项

一种多晶硅铸锭炉固液界面测量装置，其特征在于，包括铸锭炉、坩埚、测量脚、石英棒、压力传感器、位移传感器、环节、电机、行程开关、滚珠丝杠、驱动器、硅界面、控制器和显示屏；所述电机为直驱式伺服电机，与滚珠丝杠直接连接，固定于铸锭炉顶部；所述电机通过正反向旋转，带动滚珠丝杠做正反向旋转，所述滚珠丝杠上设置有驱动器，所述驱动器随着滚珠丝杠的正反转，做上升或者下降运动；所述驱动器与压力传感器固定相接，所述压力传感器与石英棒相接并监控石英棒上下运动所产生的压力信号；所述石英棒与环节活动相接，所述驱动器上设置有位移传感器；所述位移传感器监控石英棒在环节中的摆动位移信号；所述石英棒下端设置有测量脚；所述电机、压力传感器、位移传感器均与控制器电连接，所述压力传感器和位移传感器通过信号线与控制器相连接，所述驱动器与控制器连接，所述滚珠丝杠上下方设置有行程开关，控制驱动器的上下位置；所述控制器内设置有可编程数据处理器，其前面板上设置有显示屏和控制面板。