一种平面阴极

摘要

本实用新型涉及一种平面阴极，包含靶材、壳体、设置在壳体内的软铁底板、设置在软铁底板上的磁阵，靶材位于所述磁阵的上方，所述磁阵包含N组并沿软铁底板的横向进行竖直的等距排列；所述磁阵包含：形成在软铁底板上的环形跑道、设置在软铁底板上被环形跑道所包围的第一磁铁、设置在软铁底板上用于包围环形跑道的第二磁铁；所述磁阵还包含：设置在环形跑道内用于隔离并固定第一磁铁和第二磁铁的铝块；其中，被铝块隔离的第一磁铁和第二磁铁的极性相反。同现有技术相比，由于需镀膜衬底在经过靶材上方的过程中需要通过多个磁阵形成的刻蚀跑道，从而使得靶材上溅射出的离子或原子会反复的覆盖在衬底的表面形成薄膜，以此来提高衬底镀膜的速度。

主权项

一种平面阴极，包含靶材、壳体、设置在所述壳体内的软铁底板、设置在所述软铁底板上的磁阵，所述靶材位于所述磁阵的上方，其特征在于：所述磁阵包含N组并沿所述软铁底板的横向进行竖直的等距排列；其中，所述N为大于1的自然数；所述磁阵包含：形成在软铁底板上的第一环形跑道、设置在所述软铁底板上被所述第一环形跑道所包围的第一磁铁、设置在所述软铁底板上用于包围所述第一环形跑道的第二磁铁；所述磁阵还包含：设置在所述第一环形跑道内用于隔离所述第一磁铁和所述第二磁铁的第一铝块；其中，被所述第一铝块隔离的所述第一磁铁和所述第二磁铁的极性相反。