用于ＶＨＦ阻抗匹配调节之设备

摘要

在此提供阻抗匹配网路之实施例。在一些实施例中，一阻抗匹配网路可包括一同轴共振器，该同轴共振器具有一内导体与一外导体。可提供一调节电容器，其用以可改变地控制该同轴共振器之共振频率。该调节电容器可藉由一第一调节电极、一第二调节电极与一中置介电质来形成，其中该第一调节电极是由该内导体之一部分来形成。可提供一负载电容器，其用以可改变地将来自该内导体之能量耦合到一负载。该负载电容器可藉由该内导体、一可调整负载电极与一中置介电质来形成。

主权项

一种阻抗匹配网路，包含：一同轴共振器，该同轴共振器具有一内导体、一中间导体、一外导体与一介电管，该介电管设置在该内导体与该中间导体之间，其中该外导体被折叠以形成该内导体或该中间导体中的至少一者，及其中该中间导体耦接到一输入以接收功率且实质上同轴地环绕该内导体之至少一部分；一调节电容器，该调节电容器用以可改变地控制由该内导体、该中间导体与该介电管形成之该同轴共振器之共振频率；及一负载电容器，该负载电容器用以可改变地将来自该内导体之能量耦合到一负载，该负载电容器系由该内导体、一可调整负载电极与一中置介电质来形成。