坩埚与坩埚矽材的装填方法

摘要

一种坩埚与坩埚矽材的装填方法。此坩埚包含一底板以及一涂层。底板具有一表面。涂层设置在底板之表面上。此涂层包含相对之一第一面与一第二面，第二面与底板之表面接触。复数个第一孔，设置于涂层上，且复数个第一孔沿涂层之第一面朝第二面的方向延伸凹设。

主权项

一种坩埚，包含：一底板，具有一表面；一涂层，位于该表面上，该涂层包含彼此相对之一第一面与一第二面，该第二面与该表面接触；及复数个第一孔，位于该涂层上，该复数个第一孔自该第一面朝该第二面延伸。