| 发明名称 |
多晶矽之制造方法 |
| 摘要 |
提供一种多晶矽之制造方法，可有效防止产生自反应容器排出之排气中之磷-矽化合物，可将排气中所含之矽烷化合物再利用。;该多晶矽之制造方法，系于具备立设于电极上之矽芯材之反应容器内，供应含矽烷气体与氢气之反应气体，藉由通电将该矽芯材加热至矽之析出温度，使产生之矽析出于该矽芯材上而形成多晶矽棒，将反应后之排气自反应容器排出；其特征在于：将自反应容器排出之排气，以0.1秒以下之温度下降时间从800℃急速冷却至500℃。 |
| 申请公布号 |
TWI449819 |
申请公布日期 |
2014.08.21 |
| 申请号 |
TW099103267 |
申请日期 |
2010.02.04 |
| 申请人 |
德山股份有限公司 日本 |
发明人 |
小田开行;浅野卓也 |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B25/16 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼 |
| 主权项 |
一种多晶矽之制造方法，系于具备立设于电极上之矽芯材之反应容器内，供应含矽烷气体与氢气之反应气体，藉由通电将该矽芯材加热至矽之析出温度，使产生之矽析出于该矽芯材上而形成多晶矽棒，将反应后之排气自反应容器排出；其特征在于：将自反应容器排出之排气，以0.1秒以下之温度下降时间从800℃急速冷却至500℃。 |
| 地址 |
日本 |
