正型感光性树脂组成物

摘要

本发明提供一种用于形成图案化树脂膜的正型感光性树脂组成物，图案化树脂膜具有高透明性、低介电常数性、高耐溶剂性、高耐水性、高耐酸性、高耐硷性、高耐热性，与基底的密合性等优异，且藉由硷性水溶液显影而得到之。本发明之正型感光性树脂组成物由含有通式(I)表示的化合物的共聚物与1,2－醌二叠氮化合物的组成物，或者还混合有其他硷可溶性聚合物的组成物所构成。;(I);式中，R1表示氢或任意的氢可以被氟取代的碳原子数为1~5的烷基；R2、R3以及R4各自独立地表示羟基、碳原子数为1~5的烷基、碳原子数为1~5的烷氧基或－O(Si(ClH2l＋1)2O)mSi(CpH2p＋1)3；l为1~5的整数；m为0或1~10的整数；n为1~5的整数；p为1~5的整数。

主权项

一种感光性树脂组成物，包括：共聚物(A)、1,2-醌二叠氮化合物(B)以及硷可溶性共聚物(C)，上述共聚物(A)是将通式(I)表示的自由基聚合性单体(a1)和其他自由基聚合性单体(a2)聚合而得到，其他自由基聚合性单体(a2)包含选自通式(II)表示的具有酚性OH的自由基聚合性单体的一种或一种以上，式中，R1表示氢或任意的氢可以被氟取代的碳原子数为1~5的烷基；R2、R3以及R4各自独立地表示羟基、碳原子数为1~5的烷基、碳原子数为1~5的烷氧基或-O(Si(C1H2l+1)2O)mSi(CpH2p+1)3；l为1~5的整数；m为0或1~10的整数；n为1~5的整数；p为1~5的整数；通式(II)中，R5、R6以及R7各自独立地表示氢或任意的氢可以被氟取代的碳原子数为1~3的烷基；R8、R9、R10、R11以及R12各自独立地表示氢、卤素、-CN、-CF3、-OCF3、-OH、任意的-CH2-可以被-COO-、-OCO-、-CO-取代或者任意的氢可以被卤素取代的碳原子数为1~5的烷基、或任意的氢可以被卤素取代的碳原子数为1~5的烷氧基；其中，R8~R12中至少有一个为-OH；上述硷可溶性共聚物(C)是将选自具有不饱和羧酸的自由基聚合性单体、具有不饱和羧酸酐的自由基聚合性单体和具有酚性OH的自由基聚合性单体中的一种或一种以上聚合而得到。