摘要 |
Eine hierin offenbarte veranschaulichende Plattierungsvorrichtung umfasst einen Substrathalter, der geeignet ist, ein Substrat aufzunehmen, eine Anode und eine einstellbare Stromabschirmung, die zwischen dem Substrathalter und der Anode angeordnet ist. In dieser veranschaulichenden Ausführungsform umfasst die einstellbare Stromabschirmung ein nicht bewegliches Element, ein bewegliches Element, das geeignet ist, relativ zu dem nicht beweglichen Element bewegt zu werden und eine Vielzahl von Stromabschirmungselementen, die wirksam mit entweder dem nicht beweglichen Element oder dem beweglichen Element verbunden ist, wobei jedes der Stromabschirmungselemente drehbar an entweder das nicht bewegliche Element oder das bewegbare Element befestigt ist, und wobei sich jedes der Stromabschirmungselemente dreht, wenn eine Relativbewegung zwischen dem beweglichen Element und dem nicht beweglichen Element vorhanden ist. |