流量传感器及其制造方法和流量传感器模块及其制造方法

摘要

本发明提供能够抑制每个流量传感器的性能偏差的技术。在本发明的流量传感器(FS1)中，形成为在使形成在半导体芯片(CHP1)上的流量检测部(FDU)露出的状态下利用树脂(MR)覆盖半导体芯片(CHP1)的一部分的结构。在与空气的流动方向平行的方向，树脂(MR)密封半导体芯片(CHP1)的上表面(SUR(CHP))的一部分，从而树脂(MR)的上表面(SUR(MR))的高度比半导体芯片(CHP1)的上表面(SUR(CHP))高，因此能够在流量检测部(FDU)使空气的流动稳定。而且，通过半导体芯片(CHP1)和树脂(MR)的接触面积增加，能够防止半导体芯片(CHP1)和树脂(MR)的界面剥离。

主权项

一种流量传感器，具备：(a)搭载形成有多个焊垫的半导体芯片的芯片搭载部；(b)配置在上述芯片搭载部的外侧的多个引线；(c)配置在上述芯片搭载部上的上述半导体芯片；以及(d)连接上述多个引线中的各引线和形成在上述半导体芯片上的上述多个焊垫中的各焊垫的多个金属丝，上述半导体芯片具有：(c1)形成在半导体基板的主面上的流量检测部；(c2)控制上述流量检测部的控制电路部；以及(c3)形成在上述半导体基板的与上述主面相反的一侧的背面之中，且与上述流量检测部相对的区域上的隔膜，在使形成在上述半导体芯片上的上述流量检测部露出的状态下，上述芯片搭载部的一部分、上述多个引线中的各引线的一部分、上述半导体芯片的一部分及上述多个金属丝利用由树脂构成的密封体密封，上述流量传感器的特征在于，在与在露出的上述流量检测部上流动的气体的前进方向平行的任意截面中，在与上述密封体密封的上述半导体芯片接触的第一区域，上述树脂的上表面比上述半导体芯片的上表面低，并且在比上述第一区域远离上述半导体芯片的第二区域的至少一部分，上述树脂的上表面的高度比上述半导体芯片的上表面高。