发明名称 一种流强可调的真空弧离子源
摘要 本实用新型公开了一种流强可调的真空弧离子源,包括阳极(1)、阴极(4)、触发极(2)、阴极-触发绝缘体(3)、主弧电源(6),所述阴极(4)和阳极(1)均连接到主弧电源(6)上,且各连接主弧电源(6)的一个电极,所述触发极(2)与阴极(4)通过阴极-触发绝缘体(3)隔开,还包括可调电阻(5),所述可调电阻(5)连接在触发极(3)和阳极(1)之间,本实用新型的离子源不需要调节电源参数、不必改变主弧放电电流,只需调节可调电阻就可以实现离子流在较大范围内变化,具有结构简单紧凑、成本低、调节范围大等优点。
申请公布号 CN203787380U 申请公布日期 2014.08.20
申请号 CN201420218057.4 申请日期 2014.04.30
申请人 中国工程物理研究院流体物理研究所 发明人 蓝朝晖;龙继东;郑乐;杨振;董攀;彭宇飞;李杰
分类号 H01J3/04(2006.01)I 主分类号 H01J3/04(2006.01)I
代理机构 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人 谢敏
主权项 一种流强可调的真空弧离子源,包括阳极(1)、阴极(4)、触发极(2)、阴极‑触发绝缘体(3)、主弧电源(6),所述阴极(4)和阳极(1)均连接到主弧电源(6)上,且各连接主弧电源(6)的一个电极,所述触发极(2)与阴极(4)通过阴极‑触发绝缘体(3)隔开,其特征在于,还包括可调电阻(5),所述可调电阻(5)连接在触发极(3)和阳极(1)之间。
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