一种蚀刻摇摆轴的密封结构

摘要

本实用新型涉及蚀刻显影设备中密封结构的技术领域，公开了一种用于蚀刻机或者显影机中的蚀刻摇摆轴的密封结构，其包括密闭的机壳，以及由所述机壳的外部伸入其内部的摇摆轴，于所述摇摆轴与所述机壳的配合位、且于所述摇摆轴上密封套设有密封套组，于所述机壳内、且于所述摇摆轴上套设有套管，所述套管的上端插入所述密封套组中，且所述套管的下端与所述摇摆轴密封。上述蚀刻摇摆轴的密封结构，通过在摇摆轴与机壳的配合位设置密封套组，并在摇摆轴位于机壳内的部分段上套设与其密封的套管，从而形成了气体缓冲区，避免了因密封失效导致药水蒸汽外溢产生结晶的现象，不仅提高了设备性能，延长了寿命，还节约了药水，降低了成本，提高了整洁度。

主权项

一种蚀刻摇摆轴的密封结构，用于蚀刻机或者显影机，包括密闭的机壳，以及由所述机壳的外部伸入其内部的摇摆轴，于所述摇摆轴与所述机壳的配合位、且于所述摇摆轴上密封套设有密封套组，其特征在于，于所述机壳内、且于所述摇摆轴上套设有套管，所述套管的上端插入所述密封套组中，且所述套管的下端与所述摇摆轴密封。