用于辐射热测定器的悬架以及吸收器结构;SUSPENSION AND ABSORBER STRUCTURE FOR BOLOMETER

摘要

半导体装置包括基板，其具有界定出感测区域的上表面。固定的梁结构乃支持在感测区域之上的第一层级。固定的梁结构包括固定的梁支持物，其从基板的上表面向上延伸以将固定的梁结构定位在感测区域之上的第一层级。吸收器结构乃支持在固定的梁结构之上而在感测区域之上的第二层级。吸收器结构包括柱状支持物，其从固定的梁结构向上延伸以将吸收器结构定位在感测区域之上的第二层级。