正压之可控制温湿度的气体供应装置

摘要

一种正压之可控制温湿度的校正气体供应装置，设有一气液混合加湿装置、一可编程恒温恒湿控制箱及一流量控制单元。其中气液混合加湿装置系为一密闭容器，设有一进气管可通入内部所装盛的蒸馏水内，用以将一高压标准气体引入蒸馏水内加湿再由一出气管离开，成为经过第一道加湿处理的标准气体；可编程恒温恒湿控制箱提供一恒温恒湿的水蒸汽与经过第一道加湿处理的标准气体混合，成为恒温恒湿的标准气体。流量控制单元与可编程恒温恒湿控制箱相通，用以控制恒温恒湿的标准气体流至一分析仪的流量，作为校正分析仪之用。