侦测矽熔汤外泄之方法;METHOD FOR DETECTING LEAKING OF SILICON MELT

摘要

一种侦测矽熔汤外泄之方法，适用以侦测炉体内之坩埚内之矽熔汤的外泄，此坩埚之外围包覆有复数个石墨板材。此侦测矽熔汤外泄之方法包含下列步骤。利用气体侦测器进行侦测步骤，以侦测炉体内之一氧化碳之含量或二氧化碳之含量。将坩埚之加热温度维持在稳定状态时，所侦测到之一氧化碳或二氧化碳之第一含量值作为一基准。进行判断步骤，以判断矽熔汤是否自坩埚外泄。当后续所侦测到之一氧化碳或二氧化碳之第二含量值相对于第一含量值呈陡升状况时，判断矽熔汤外泄。