VORRICHTUNG UND METHODE FÜR DIE IN SITU MESSUNG DER ELEKTROMAGNETISCHEN EIGENSCHAFTEN VERSCHIEDENER PROZESSMATERIALEN UNTER VERWENDUNG DER CHARAKTERISTISCHEN GRENZFREQUENZ
摘要
申请公布号
DE69315208(T2)
申请公布日期
1998.06.10
申请号
DE19936015208T
申请日期
1993.04.21
申请人
THERMEDICS, INC., WOBURN, MASS., US
发明人
JEAN, BUFORD, RANDALL, ROUND ROCK, TX 78664, US;WHITEHEAD, F., LYNN, AUSTIN, TX 78759, US;WARREN, GARY, L., AUSTIN, TX 78726, US
