一种用于真空镀膜设备的衬底基座

摘要

本实用新型涉及一种用于真空镀膜设备的衬底基座。本实用新型由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成。该衬底基座由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成；衬底面板的沟槽轨道至少有两条，且轨道之间的距离至少为3cm，沟槽轨道的宽度能容下螺丝，且螺丝杆可以在沟槽中自由移动，螺丝杆与螺母配合，螺丝杆上装有可活动的金属薄垫片。本实用新型可根据衬底的面积大小、形状差异进行不同位置的灵活固定，简单方便，尤其对面积较小、数量众多的衬底样品有很好的紧固能力，具有很好的实用性。

主权项

一种用于真空镀膜设备的衬底基座，其特征在于：该衬底基座由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成；衬底面板的沟槽轨道至少有两条，且轨道之间的距离至少为3 cm，沟槽轨道的宽度能容下螺丝，且螺丝杆可以在沟槽中自由移动，螺丝杆与螺母配合，螺丝杆上装有可活动的金属薄垫片。